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產(chǎn)品詳情
產(chǎn)品描述
設(shè)備概要：二氧化碳噴霧精密清洗機
產(chǎn)品：4，6，8 英寸晶圓，MEMS，光罩
功能： 從專用噴嘴噴射干冰粉，以去除顆粒和有機殘留物。晶圓無水清洗防靜電措施，防止結(jié)露機械手自動將晶圓從盒中取出并存儲。
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